衍射光学组件及获取方法、光学系统
基本信息
申请号 | CN202110397369.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113514910A | 公开(公告)日 | 2021-10-19 |
申请公布号 | CN113514910A | 申请公布日 | 2021-10-19 |
分类号 | G02B5/00(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I;G03F1/84(2012.01)I | 分类 | 光学; |
发明人 | 方红;姜鹏 | 申请(专利权)人 | 长江存储科技有限责任公司 |
代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 熊永强 |
地址 | 430074湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请提供了衍射光学组件及获取方法、光学系统。其中衍射光学组件包括第一基础元件,第一基础元件具有第一透光区及第一非透光区。第二基础元件,第二基础元件具有第二透光区及第二非透光区,第一基础元件与第二基础元件层叠设置,第一非透光区覆盖至少部分第二透光区,第二非透光区覆盖至少部分第一透光区,并使剩余的第一透光区与剩余的第二透光区形成目标透光区。通过第一基础元件与第二基础元件的组合,使原本复杂的衍射光学元件分解成几个简单的基础元件,从而降低衍射光学元件的制备难度与制备时间,降低了检测成本。另外,由于第一基础元件与第二基础元件可重复使用,可进一步降低衍射光学元件的成本。 |
