衍射光学组件及获取方法、光学系统

基本信息

申请号 CN202110397369.0 申请日 -
公开(公告)号 CN113514910A 公开(公告)日 2021-10-19
申请公布号 CN113514910A 申请公布日 2021-10-19
分类号 G02B5/00(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I;G03F1/84(2012.01)I 分类 光学;
发明人 方红;姜鹏 申请(专利权)人 长江存储科技有限责任公司
代理机构 广州三环专利商标代理有限公司 代理人 熊永强
地址 430074湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供了衍射光学组件及获取方法、光学系统。其中衍射光学组件包括第一基础元件,第一基础元件具有第一透光区及第一非透光区。第二基础元件,第二基础元件具有第二透光区及第二非透光区,第一基础元件与第二基础元件层叠设置,第一非透光区覆盖至少部分第二透光区,第二非透光区覆盖至少部分第一透光区,并使剩余的第一透光区与剩余的第二透光区形成目标透光区。通过第一基础元件与第二基础元件的组合,使原本复杂的衍射光学元件分解成几个简单的基础元件,从而降低衍射光学元件的制备难度与制备时间,降低了检测成本。另外,由于第一基础元件与第二基础元件可重复使用,可进一步降低衍射光学元件的成本。