三维存储装置及其形成方法
基本信息
申请号 | CN202180001942.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113519056A | 公开(公告)日 | 2021-10-19 |
申请公布号 | CN113519056A | 申请公布日 | 2021-10-19 |
分类号 | H01L27/11548(2017.01)I;H01L27/11556(2017.01)I;H01L27/11575(2017.01)I;H01L27/11582(2017.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 张中;王迪;周文犀 | 申请(专利权)人 | 长江存储科技有限责任公司 |
代理机构 | 北京永新同创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 林锦辉;刘景峰 |
地址 | 430074湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 在某些方面,三维(3D)存储装置包括在第一区域中的多个沟道结构、在第二区域中的阶梯结构、以及在第一区域和第二区域中延伸的字线。第一区域和第二区域沿第一方向布置。字线在第一方向上在第一区域和第二区域之间是不连续的。 |
