三维存储装置及其形成方法

基本信息

申请号 CN202180001942.X 申请日 -
公开(公告)号 CN113519056A 公开(公告)日 2021-10-19
申请公布号 CN113519056A 申请公布日 2021-10-19
分类号 H01L27/11548(2017.01)I;H01L27/11556(2017.01)I;H01L27/11575(2017.01)I;H01L27/11582(2017.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 张中;王迪;周文犀 申请(专利权)人 长江存储科技有限责任公司
代理机构 北京永新同创知识产权代理有限公司 代理人 林锦辉;刘景峰
地址 430074湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
法律状态 -

摘要

摘要 在某些方面,三维(3D)存储装置包括在第一区域中的多个沟道结构、在第二区域中的阶梯结构、以及在第一区域和第二区域中延伸的字线。第一区域和第二区域沿第一方向布置。字线在第一方向上在第一区域和第二区域之间是不连续的。