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一种VCSEL测量装置

基本信息

申请号	CN201911281656.4	申请日	-
公开（公告）号	CN111006719A	公开（公告）日	2020-04-14
申请公布号	CN111006719A	申请公布日	2020-04-14
分类号	G01D21/02(2006.01)I	分类	测量；测试;
发明人	周汉川;肖黎明	申请（专利权）人	武汉光安伦光电技术有限公司
代理机构	北京汇泽知识产权代理有限公司	代理人	武汉光安伦光电技术有限公司
地址	430074湖北省武汉市东湖开发区光谷金融港B26-802
法律状态	-

摘要

本发明涉及VCSEL参数测量技术领域，提供了一种VCSEL测量装置，包括用于搁置芯片的测量台，还包括架设于所述测量台上方的支撑架、用于测量芯片的不同参数的若干参数测量组件以及用于将任一所述参数测量组件的位置调整至所述测量台的正上方的调整机构，各所述参数测量组件均可拆卸安装在所述调整机构上，所述调整机构安装在所述支撑架上。本发明的通过将多个参数测量组件集成在一起，通过调整来选择性地调整参数测量组件的位置，进而选择性地对需要的参数进行测量，解决了现有技术中的缺陷，而且通过参数测量组件的可拆卸连接的形式，可以根据实际需要拆下当前的参数测量组件并安装另外种类的参数测量组件，使得本测量装置的扩展性更好且使测量更为灵活。