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一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统

基本信息

申请号	CN202010722330.7	申请日	-
公开（公告）号	CN111983814A	公开（公告）日	2020-11-24
申请公布号	CN111983814A	申请公布日	2020-11-24
分类号	G02B27/09(2006.01)I	分类	光学;
发明人	邱洪荣;金浩程	申请（专利权）人	常州市奥普泰克光电科技有限公司
代理机构	常州格策知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	徐静
地址	213000江苏省常州市新北区罗溪镇旺财路10号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统，第一球面镜的出光面与第二球面镜的入光面为边缘接触式连接，第二球面镜的出光面与第三球面镜的入光面之间设有间距，微透镜包括第一微透镜和第二微透镜，第一微透镜和第二微透镜的相对镜面的Y轴方向均设有球面阵列结构。通过上述方式，本发明采用三片球面镜对激光光束进行准直，再经过两片微透镜阵列在Y轴方向聚焦成线性光。三片球面镜对激光发散角进行压缩准直，微透镜阵列在Y方向对准直后的光束进行会聚，而对X方向的光束进行发散，最终在工作面上形成长度为180‑200mm，宽度为0.6‑0.8mm的线性光斑，相邻微透镜阵列之间重合光斑区域5mm，重叠光斑优化完成均匀度在90%左右。