一种高纯度ITO靶材生产用便于固定的烘干设备

基本信息

申请号 CN202120287943.2 申请日 -
公开(公告)号 CN214977744U 公开(公告)日 2021-12-03
申请公布号 CN214977744U 申请公布日 2021-12-03
分类号 B22F3/10(2006.01)I 分类 铸造;粉末冶金;
发明人 不公告发明人 申请(专利权)人 徐州金琳光电材料产业研究院有限公司
代理机构 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 刘冉
地址 221400江苏省徐州市新沂市唐店街道众创产业园A05栋
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于ITO靶材烘干设备技术领域,尤其为一种高纯度ITO靶材生产用便于固定的烘干设备,包括机体和转动杆,所述机体的外部安装有烧结炉,且机体的内壁安装有螺栓,所述机体的内部安装有烘干仓,且烘干仓的内壁安装有热风机,并且热风机的中间位置安装有第一转轴,所述转动杆位于热风机的下方,且转动杆的两侧均固定有加热管,所述转动杆的外壁右侧安装有第二转轴,且第二转轴的外部预留有滑槽,所述滑槽的内部安装有滑块,且滑块的上方安装有限位块。该高纯度ITO靶材生产用便于固定的烘干设备,与现有的ITO靶材烘干设备相比,可以使机体固定的更加牢固,螺纹的方式使得安装更加的便利,增加烘干仓内部的温度,能够提高ITO靶材烘干的工作效率。