一种翘起结构的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201910021859.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109750253B | 公开（公告）日 | 2019-05-14 |
| 申请公布号 | CN109750253B | 申请公布日 | 2019-05-14 |
| 分类号 | C23C14/02(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 江苏润祁项目管理有限公司 |
| 代理机构 | 南京擎天知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 涂春春 |
| 地址 | 225300江苏省泰州市泰镇路东侧约100米、疏港路北侧3栋2号1006 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及微纳结构制备领域，具体涉及一种翘起结构的制备方法，只需要校场一次，通过对不同区域选择不同的曝光深度，蒸镀两次，再将其放入热场中，调节热场的温度，来调控翘起的角度。整个制备过程简单易操作，翘起结构的制备精度高，角度易于调控。 |
