高分辨率二维快速控制反射镜动态角度测量装置
基本信息
| 申请号 | CN202110673640.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113405490A | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN113405490A | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | G01B11/26（2006.01）I;G01M11/02（2006.01）I;G02B26/08（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 康登魁;姜昌录;王楠茜;俞兵;袁泉;陈洁婧;王生云;王雷;张玫;黎高平 | 申请（专利权）人 | 西安应用光学研究所 |
| 代理机构 | 中国兵器工业集团公司专利中心 | 代理人 | 周恒 |
| 地址 | 710065陕西省西安市雁塔区电子三路西段九号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于光学计量与测量技术领域，具体涉及一种高分辨率二维快速控制反射镜动态角度测量装置。所述测量装置包括：激光器、空间滤波器、参考反射镜、电动三维位移台、汇聚透镜、高速CCD相机；本发明采用参考反射镜与FSM光路折转的方式，将FSM偏转角度提高为2倍，可以实现较高分辨率的测量。当FSM的倾斜角度分辨率为0.02″时，当光线反射四次后，其光束最小偏向角约为0.001″，该方法较自准直法的分辨率有明显的提升。本发明采用TEM00模式的激光光斑作为测量目标，可以避免自准直仪测量时十字线目标亮度损失较大的问题。 |
