一种吸取多片晶圆的吸盘组
基本信息
| 申请号 | CN202110591216.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113291814A | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN113291814A | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | B65G49/07（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 吴何军;宣荣卫 | 申请（专利权）人 | 艾华（无锡）半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡盛阳专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 张宁;杨辰 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及光伏、半导体制造技术领域，具体为一种吸取多片晶圆的吸盘组，其能够一次实现多片晶圆的流转，流转过程中防止晶圆与吸盘接触面发生相对移动，减少对晶圆表面的损伤，提高晶圆在生产效率及流转过程中的良率，其包括吸盘和安装座，吸盘包括至少两个且并排间隔布置，吸盘包括安装区和吸附区，吸附区的正面开设有真空导流气道，真空导流气道上开设有抽真空口，安装区的正面高于吸附区正面，安装区的正面开设有分片气道、端部开设有吸盘真空进气口，吸盘真空进气口通过吸盘内部的连通气道与抽真空口连通，安装座包括固定连接的分气板、吸盘固定座、密封压板，分气板与吸盘固定座之间设置有第一密封垫。 |
