一种悬挂式晶圆载具
基本信息
| 申请号 | CN202020541452.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211743106U | 公开（公告）日 | 2020-10-23 |
| 申请公布号 | CN211743106U | 申请公布日 | 2020-10-23 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 宣荣卫;吕俊 | 申请（专利权）人 | 艾华（无锡）半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 连云港联创专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 艾华（无锡）半导体科技有限公司 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体加工技术领域，且公开了一种悬挂式晶圆载具，包括载具本体，所述载具本体的外表面固定套接有防护壳，所述载具本体顶部的两侧均固定安装有竖杆，所述竖杆的顶端贯穿防护壳并延伸至防护壳的上方。该悬挂式晶圆载具，通过设置防护壳、竖杆和吊环，由于防护壳的设计，将会提高了对载具本体整体的防护效果，从而降低了外界碰撞对载具本体所产生的不利影响，同时由于竖杆和吊环之间的配合，使得载具本体整体便于悬挂，此时载具本体整体将会分别受到拉力和重力作用，而产生受力平衡，使其在长期使用的过程中不易发生弯曲变形，便于操作人员的使用，因此增加了该晶圆载具的实用性。 |
