耐压终端环结构与功率器件
基本信息
| 申请号 | CN201611256022.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106847878A | 公开（公告）日 | 2017-06-13 |
| 申请公布号 | CN106847878A | 申请公布日 | 2017-06-13 |
| 分类号 | H01L29/06(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 义夫;华国安 | 申请（专利权）人 | 丽晶美能（北京）电子技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 赵囡囡;吴贵明 |
| 地址 | 100083 北京市海淀区学院路30号一区方兴大厦1010B室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种耐压终端环结构与功率器件。该耐压终端环结构包括衬底、多个场环、多个场板、介质膜与至少一个附加离子注入区，多个场环间隔设置在衬底内且靠近第二表面设置，各场环的导电类型与衬底的导电类型相反，多个场环中包括至少一个耐压环和两个等位环两个等位环沿远离耐压环的方向依次设置；场板与场环一一对应地设置，各耐压环对应的平行段向靠近第三表面的方向延伸，各等位环对应的平行段向远离第三表面的方向延伸；介质膜设置在第二部分表面以及部分第一部分表面上；至少一个附加离子注入区设置在相邻的耐压环和等位环之间的衬底中，附加离子注入区的导电类型与衬底的导电类型相反。包括该结构的功率器件的反向击穿电压较稳定。 |
