功率半导体器件
基本信息
申请号 | CN202010403783.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111554740A | 公开(公告)日 | 2020-08-18 |
申请公布号 | CN111554740A | 申请公布日 | 2020-08-18 |
分类号 | H01L29/739(2006.01)I | 分类 | - |
发明人 | 贺东晓 | 申请(专利权)人 | 丽晶美能(北京)电子技术有限公司 |
代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王晓玲 |
地址 | 100070北京市丰台区丰台东路58号9层906A房间 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种功率半导体器件。该功率半导体器件包括有源区和终端区,有源区和终端区均具有衬底,终端区环绕有源区设置,终端区包括多个第一场板,位于衬底上,各第一场板沿由有源区到终端区的方向间隔设置,且相邻各第一场板具有相等的第一间距,第一间距为0.1~8μm。当器件偏置电压突变时,每个场板电容也将均匀的同时变化,从而不会造成电压在场板上的突变而导致的不稳定,降低了场板/场限环之间发生放电击穿的风险。此外,由于间隔设置的场板形成串联电容,从而能够牢牢地控制界面电势的梯度变化,进而能够消除外来的可动离子对终端电压的影响。 |
