一种沟槽终端结构及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110023025.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112768506A | 公开（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申请公布号 | CN112768506A | 申请公布日 | 2021-05-07 |
| 分类号 | H01L21/28(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 李加洋;陶瑞龙;胡兴正;薛璐;刘海波 | 申请（专利权）人 | 滁州华瑞微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 施昊 |
| 地址 | 239000安徽省滁州市南谯区双庙路与兴隆路交叉口西南侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种沟槽终端结构及其制备方法，沟槽呈环状分布于有源区的外围，在沟槽的外围设有截止环，沟槽包括若干条间断沟槽和一条连续沟槽，所述连续沟槽位于间断沟槽与截止环之间，每条间断沟槽包括若干条等间距设置的间断子沟槽，且相邻间断沟槽的间断子沟槽交错分布。本发明使得终端位置的电势分布更均匀，并减小了终端宽度，提升了器件性能。 |
