一种三栅SiCJFET横向器件
基本信息
申请号 | CN202120317459.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214378461U | 公开(公告)日 | 2021-10-08 |
申请公布号 | CN214378461U | 申请公布日 | 2021-10-08 |
分类号 | H01L29/808(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L29/16(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 施广彦;李昀佶 | 申请(专利权)人 | 泰科天润半导体科技(北京)有限公司 |
代理机构 | 福州市鼓楼区京华专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 林燕 |
地址 | 100000北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园B区1号楼106A、113A、115A、117A、119A、121A | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种三栅SiC JFET横向器件,包括纵向自下而上的体电极、外延层、沟道区、源极、漏极、两个第一侧栅和顶栅;每个所述第一侧栅顶部与顶栅相连,两个第一侧栅和顶栅形成倒U型栅金属结构,每个所述第一侧栅底部与外延层连接,并在顶栅处形成栅电极;所述顶栅和第一侧栅均与沟道区直接接触形成pn结;所述源极以及漏极均连接至所述外延层,且均与所述沟道区连接;在较低栅压情况下有足够低的比接触电阻,在低工作频率应用情况下,可以大幅降低驱动功耗。 |
