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一种高稳定性双温区大容积炉源装置

基本信息

申请号	CN202022826175.1	申请日	-
公开（公告）号	CN213866397U	公开（公告）日	2021-08-03
申请公布号	CN213866397U	申请公布日	2021-08-03
分类号	C23C14/26（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	张朱锋;管家月;谢斌平	申请（专利权）人	费勉仪器科技（上海）有限公司
代理机构	南京瑞华腾知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	梁金娟
地址	210000江苏省南京市江北新区智达路6号智城园区3号楼4层
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种高稳定性双温区大容积炉源装置，包括用于与腔体连接的真空法兰，真空法兰的一侧设置有多个热电偶馈通，真空法兰的另一侧通过支撑杆固定有支撑圆盘，支撑圆盘的上方固定有中空的外筒，外筒的内壁设置有下温区加热组件和上温区加热组件，加热组件包括多个固定片、设置在固定片上的方槽以及插接在方槽内的加热板，外筒的内部设置有坩埚，且下温区加热组件和上温区加热组件分别位于坩埚外表面的下部和上部，支撑圆盘上设置有上温区热电偶和下温区热电偶。本实用新型在加热区域采用多个固定片对整个加热板进行固定，可以得到更好的真空；结构简单，减少因为零件损坏而产生更换几率；固定片上设置的方槽使得加热板的安装更加简单。