一种掺杂银的氧化锡靶材及其制备方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN201910688910.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110257786B | 公开（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申请公布号 | CN110257786B | 申请公布日 | 2021-04-06 |
| 分类号 | C22C29/12(2006.01)I;B22F3/10(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;B22F1/00(2006.01)I;B22F3/04(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张科;陈钦忠;叶开满;虞志轩 | 申请（专利权）人 | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京高沃律师事务所 | 代理人 | 薛红凡 |
| 地址 | 350200福建省福州市长乐市航城街道琴江村太平里169号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种掺杂银的氧化锡靶材及其制备方法和应用，属于靶材制备技术领域。由包括Ag粉体和SnO2粉体制得，所述Ag粉体和SnO2粉体的质量比为1:50～1:100。本发明在氧化锡靶材中掺杂Ag，不仅能改善SnO2基靶材的烧结特性，而且能提高靶材的密度，靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好，能更好地承受溅射过程中的热应力。此外，还能提高靶材的抗氧化性，增加薄膜的使用寿命。 |
