一种溅射靶材的去内应力校正方法
基本信息
| 申请号 | CN202010493074.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111607752B | 公开（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申请公布号 | CN111607752B | 申请公布日 | 2021-07-13 |
| 分类号 | C22F3/00;C23C14/35;B21D3/16 | 分类 | 冶金；黑色或有色金属合金；合金或有色金属的处理; |
| 发明人 | 张科;黄先彬;林晓明;池铭浩;李强 | 申请（专利权）人 | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京高沃律师事务所 | 代理人 | 马小星 |
| 地址 | 350200 福建省福州市长乐区航城街道琴江村太平里169号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种溅射靶材的去内应力校正方法，属于靶材制造领域。本发明通过预压使溅射靶材在冷却过程中不发生变形，再利用高频振动的方式释放靶材绑定过程中产生的残余应力，最后进行校直保压处理。相比于传统工艺中的直接保压方法，本发明的方法具有生产周期短、内应力消除率高、使用方便、易于实现机械化、自动化且成品率高的优点，具有显著的经济应用价值。 |
