一种银铜合金靶材及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201910689041.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110318024B | 公开（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申请公布号 | CN110318024B | 申请公布日 | 2021-04-06 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C22C5/08(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张科;陈钦忠;邱树将;李小锦 | 申请（专利权）人 | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京高沃律师事务所 | 代理人 | 赵晓琳 |
| 地址 | 350200福建省福州市长乐市航城街道琴江村太平里169号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种银铜合金靶材及其制备方法，属于溅射靶材技术领域。本发明提供的银铜合金靶材的制备方法，包括以下步骤：将铜和银在保护气氛下进行熔炼，得到液态合金；将所述液态合金进行喷射沉积处理，得到银铜合金铸锭；将所述银铜合金铸锭依次进行均匀化退火、ECAP挤压、低温退火、镦粗变形和轧制处理，得到银铜合金粗锭；将所述银铜合金粗锭进行再结晶退火处理，得到银铜合金靶材。本发明制得的银铜合金靶材具有晶粒尺寸细小、晶粒分布均匀、成分均匀和致密性高的特点。 |
