一种靶材的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201811146501.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109023269B | 公开（公告）日 | 2021-01-05 |
| 申请公布号 | CN109023269B | 申请公布日 | 2021-01-05 |
| 分类号 | C23C14/34;C23C14/35 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈钦忠;陈宝忠;林志河;蔡小勇;邱树将 | 申请（专利权）人 | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京高沃律师事务所 | 代理人 | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 地址 | 350200 福建省福州市长乐市航城街道琴江村太平里169号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种靶材的制作方法。所述制作方法包括：采用电刷镀方式在靶坯的接触面制作第一膜层；采用电刷镀方式在背板的接触面制作第二膜层；所述第二膜层与所述第一膜层材质相同；用自来水将所述靶坯和所述背板冲净、吹干；将所述靶坯和所述背板叠合固定在加热平台上；叠合时所述靶坯的接触面的第一膜层与所述背板的接触面的第二膜层接触；打开所述加热平台，调节温度范围，所述温度范围为高于所述第一膜层和第二膜层的熔点，且小于所述靶坯和所述背板的熔点的温度范围；保温保压1小时后关闭所述加热平台；冷却后，完成所述靶坯与所述背板的结合，完成靶材的制作。采用本发明靶材的制作方法，可以提高靶材的结合率，提高靶材的质量。 |
