一种靶材绑定的方法
基本信息
| 申请号 | CN202010978641.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112063986A | 公开（公告）日 | 2020-12-11 |
| 申请公布号 | CN112063986A | 申请公布日 | 2020-12-11 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈枫;苏百樱;陈宗鸿 | 申请（专利权）人 | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京高沃律师事务所 | 代理人 | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 地址 | 350200福建省福州市长乐市航城街道琴江村太平里169号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种靶材绑定的方法，包括以下步骤：(1)在背板和靶坯之间设置遮挡物，所述遮挡物呈框形，且所述遮挡物位于所述背板和所述靶坯之间的缝隙的边缘；(2)对所述背板的绑定区域和所述靶坯的绑定区域进行金属化；(3)对所述背板和所述靶坯进行盖合绑定，按设计尺寸调整所述背板和所述靶坯的相对位置并在所述靶坯上进行压重；(4)对所述靶坯进行降温，降温后扒除焊料池多余焊料，取出所述遮挡物；(5)将所述靶坯的焊层边缘多余的焊料刮除，得到焊层边缘向内收缩，且焊层边缘平整的靶材。本发明能够避免在溅射镀膜过程中发生靶材焊料溢流。 |
