基于体声波的光传感器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110381704.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113188655A | 公开（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申请公布号 | CN113188655A | 申请公布日 | 2021-07-30 |
| 分类号 | G01J1/42 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李国强 | 申请（专利权）人 | 广州市艾佛光通科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州容大知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘新年 |
| 地址 | 510000 广东省广州市黄埔区开源大道136号B2栋1103室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及光传感器技术领域，具体涉及一种基于体声波的光传感器及其制备方法。所述光传感器包括衬底及其上方的光敏压电震荡层；所述衬底上具有空气腔；所述光敏压电震荡层根据光信号变化而发生频率变化，包括从下至上依次排列的下电极、压电薄膜、上电极、光敏薄膜。本发明将光敏薄膜与压电薄膜相结合形成具有光敏特性的压电震荡堆，制备成光敏压电震荡层，利用压电效应和光电效应共同影响压电层的频率特性，通过谐振频率的变化表征检测的光信号。具有灵敏度高、信号噪声小的优点。 |
