薄膜体声波谐振器及无线通信装置
基本信息
| 申请号 | CN202020921700.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213717943U | 公开（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申请公布号 | CN213717943U | 申请公布日 | 2021-07-16 |
| 分类号 | H03H9/56（2006.01）I;H03H9/19（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 李国强 | 申请（专利权）人 | 广州市艾佛光通科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州市越秀区哲力专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 毕晓萌 |
| 地址 | 510000广东省广州市黄埔区金中路23号自编一栋办公区303房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种薄膜体声波谐振器及无线通信装置，该薄膜体声波谐振器包括；衬底，衬底一侧设置有凹槽；支撑层，支撑层设置在凹槽开口一侧，覆盖衬底未设置凹槽的区域；底电极，设置在凹槽开口一侧，底电极朝向凹槽一侧与凹槽两侧的支撑层连接，压电薄膜、顶电极依次叠置于底电极远离凹槽一侧。本实用新型结构简单、稳定，外界应力不易传递到谐振器，不容易出现频偏，能够有效减小外界应力对声波谐振器频率的影响，同时降低了薄膜体声波谐振器的制造工艺，减少了资源和时间的消耗，降低了生产成本。 |
