兰姆波谐振器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110894385.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113794462A | 公开（公告）日 | 2021-12-14 |
| 申请公布号 | CN113794462A | 申请公布日 | 2021-12-14 |
| 分类号 | H03H9/205（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I;H01L41/332（2013.01）I;H01L41/331（2013.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 李国强 | 申请（专利权）人 | 广州市艾佛光通科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州容大知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘新年 |
| 地址 | 510000广东省广州市黄埔区开源大道136号B2栋1103室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及射频滤波器技术领域，具体涉及一种兰姆波谐振器及其制备方法。所述兰姆波谐振器包括自下而上的衬底，叉指底电极、压电层和叉指顶电极；所述衬底上刻蚀有空腔；所述压电层未被叉指顶电极覆盖的表面有反射金属层；所述压电层具有弧形边缘。本发明提供的兰姆波谐振器中，反射金属层与压电层的弧形边缘协同作用，将声波有效地限制在压电层中，降低了声波传输损耗；此外本发明的兰姆波谐振器散热更快，降低了谐振器的温度，提高了谐振器的功率容量以及品质因数。 |
