一种嵌入式电极结构LED器件及其制备方法

基本信息

申请号 CN202110074335.8 申请日 -
公开(公告)号 CN112864292A 公开(公告)日 2021-05-28
申请公布号 CN112864292A 申请公布日 2021-05-28
分类号 H01L33/14(2010.01)I;H01L33/40(2010.01)I;H01L33/32(2010.01)I;H01L33/06(2010.01)I;H01L33/38(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I;H01L33/10(2010.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李国强 申请(专利权)人 广州市艾佛光通科技有限公司
代理机构 广州容大知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 刘新年
地址 510000广东省广州市黄埔区开源大道136号B2栋1103室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种嵌入式电极结构LED器件及其制备方法。所述嵌入式电极结构LED器件包括从下到上依次排列的第二硅衬底、键合层、第一钝化层、金属层、反射镜层、p‑GaN层、AlGaN电子阻挡层、InGaN/GaN多量子阱层、n‑GaN层和第二钝化层;LED器件的p电极与n电极以嵌入式电极的形式均匀分布在器件内部的孔状结构中,p电极与n电极的pad引出电极位于器件出光面的背面。本发明还提供了嵌入式电极结构LED器件的制备方法。本发明提供的嵌入式电极结构LED器件有效提高了器件的光提取效率、有利于电流扩展、具有优异的散热能力。