一种固态前驱体源存储升华器
基本信息
| 申请号 | CN202111070284.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113897593A | 公开（公告）日 | 2022-01-07 |
| 申请公布号 | CN113897593A | 申请公布日 | 2022-01-07 |
| 分类号 | C23C16/448（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 谈益强;朱梦玉;薛剑 | 申请（专利权）人 | 浙江陶特容器科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人 | 汪利胜 |
| 地址 | 314400浙江省嘉兴市海宁市周王庙镇之江路30号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种固态前驱体源存储升华器，旨在解决固态前驱体源的挥发升华不稳定，固态前驱体源的利用率低的不足。该发明包括存储筒、安装在存储筒内的若干托盘、托盘依次上下堆叠在一起，托盘内设有若干周向间隔布设的分隔板，相邻两分隔板之间形成用于装载固态前驱体源的储料腔，分隔板上设有通气窗使相邻两储料腔连通，从而在托盘内形成一圈气道；一储料腔内设置隔离板，隔离板将该储料腔分成进气腔和出气腔，下一托盘上的出气腔与上一托盘上的进气腔连通，从而使所有托盘上的气道连通在一起形成通气流道；存储筒上设有载气进口和混合蒸汽出口，载气进口和混合蒸汽出口分别与通气流道的两端连通。 |
