用于激光微孔加工的光束扫描系统
基本信息
| 申请号 | CN201820179610.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208289223U | 公开（公告）日 | 2018-12-28 |
| 申请公布号 | CN208289223U | 申请公布日 | 2018-12-28 |
| 分类号 | B23K26/082;B23K26/382 | 分类 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工; |
| 发明人 | 姜宝宁;王宁;王自;康伟;贺斌;杨小君 | 申请（专利权）人 | 中科微精（北京）光子科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市科进知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵勍毅 |
| 地址 | 710119 陕西省西安市高新区西部大道60号11号楼201室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于激光微孔加工的光束扫描系统，该光束扫描系统包括发射激光束的激光器模块，还包括：光束二维扫描模块、光束横移模块、光束二维扫描模块驱动系统、光束横移模块驱动系统，聚焦镜、协同控制系统。本实用新型的系统实时检测光束横移模块的当前相位，对光束横移模块的当前相位和预设的光束二维扫描模块扫描轨迹进行矢量解析，解决了机械特性差异大带来的同步控制的难题，并能消除累积误差，较好的保证其长期同步精度。 |
