一种半导体晶圆烘烤装置
基本信息
| 申请号 | CN202123220350.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216563033U | 公开（公告）日 | 2022-05-17 |
| 申请公布号 | CN216563033U | 申请公布日 | 2022-05-17 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;B08B17/02（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陆金发 | 申请（专利权）人 | 江西安芯美科技有限公司 |
| 代理机构 | 南昌贤达专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 337000江西省萍乡市安源区安源工业园电子信息产业园B栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种半导体晶圆烘烤装置，具体涉及晶圆烘烤领域，包括烘烤箱，烘烤箱的内腔右侧设置有用于烘烤的电热管，电热管的右侧设置有吹风的第一风扇，烘烤箱的左侧设置有抽拉板，抽拉板的顶部一侧固定连接有支撑侧板，抽拉板的顶部设置有用于防止晶圆的载料板。实用新型首先供电箱使电热管自身发热，并通过第一风扇将电热管表面的热气吹到抽拉板的顶部，方便对晶圆进行烘烤，并通过多孔板，使进入抽拉板顶部的热气分布更加均匀，进而使烘干效果更佳，并通过设置的防尘网防止外部空气中的灰尘进入烘烤箱的内部，起到防尘的作用，并通过支撑杆与滑杆的配合，方便对载料板进行支撑限位，进而方便对载料板进行拿取放置。 |
