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去除蓝宝石单抛衬底背面色差的清洗方法

基本信息

申请号 CN202110960902.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113680721A 公开（公告）日 2021-11-23
申请公布号 CN113680721A 申请公布日 2021-11-23
分类号 B08B1/00;B08B3/02;B08B3/08;B08B7/00;B08B13/00;H01L21/02 分类 清洁;
发明人 丁云海;芦玲;其他发明人请求不公开姓名 申请（专利权）人 江苏澳洋顺昌集成电路有限公司
代理机构 淮安市科文知识产权事务所 代理人 廖娜;李锋
地址 223001 江苏省淮安市清河新区景秀路6号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及晶片加工领域，公开了一种去除蓝宝石单抛衬底背面色差的清洗方法，蓝宝石衬底研磨下机后使用流水冲洗掉表面的研磨砂，再将其于碱性清洗剂中浸泡20‑30min后，使用流水冲掉表面的浮砂及清洗剂；边喷活性剂边双面刷洗，最后喷纯水冲洗掉活性剂；采用2~4倍压缩的擦擦克林擦洗表面后，纯水冲洗表面杂质；使用酸性清洗剂浸泡800~1000s后，进行QDR清洗；干燥、叠片、上炉、退火后，贴片、单面化学抛光后，通过鼓泡清洗表面的大颗粒；刷洗掉抛光面的脏污颗粒；使用科技海绵蘸取活性剂擦洗抛光面；去蜡清洗和碱洗。本发明解决了蓝宝石衬底表面清洗不均匀导致的背面色差问题，减少对PSS及外延工序的影响。