多线切割统一面型的加工方法
基本信息
| 申请号 | CN201910946952.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110722691A | 公开（公告）日 | 2020-01-24 |
| 申请公布号 | CN110722691A | 申请公布日 | 2020-01-24 |
| 分类号 | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00;G01B21/20;G01B21/30;G01N21/88 | 分类 | 加工水泥、黏土或石料; |
| 发明人 | 余胜军;卢东阳 | 申请（专利权）人 | 江苏澳洋顺昌集成电路有限公司 |
| 代理机构 | 大连理工大学专利中心 | 代理人 | 温福雪 |
| 地址 | 223001 江苏省淮安市景秀路6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种多线切割统一面型的加工方法，步骤如下：晶棒检验、粘棒、线切割工艺选择、切割、下片和清洗。本发明的加工方法通过对线切割来回切割的切割能力控制一样，将线切割加工后的面型统一控制为马鞍型，有利于研磨对才产品BOW/WARP的去除和产品统一面型的控制；线切割后产品马鞍状占比85％以上。 |
