一种控制研磨产品BOW值加工的方法
基本信息
| 申请号 | CN201910967920.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110722692A | 公开（公告）日 | 2020-01-24 |
| 申请公布号 | CN110722692A | 申请公布日 | 2020-01-24 |
| 分类号 | B28D5/04;B24B37/10 | 分类 | 加工水泥、黏土或石料; |
| 发明人 | 余胜军;卢海彬 | 申请（专利权）人 | 江苏澳洋顺昌集成电路有限公司 |
| 代理机构 | 大连理工大学专利中心 | 代理人 | 温福雪 |
| 地址 | 223001 江苏省淮安市清河新区景秀路6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种控制研磨产品BOW值加工的方法，步骤如下：将4寸蓝宝石晶棒使用多线切割机切割成晶片；分选；研磨减薄。本发明通过此种加工方式可以有效的控制研磨后产品的BOW值，提升产品良率，更好的控制产品在抛光后的BOW/WARP的一致性，对后制程MOCVD反向增长有较好的控制，从而增加产品的波长命中率及降低波长STD。 |
