图形化复合衬底及包含该衬底的LED外延结构及芯片

基本信息

申请号 CN202111633737.3 申请日 -
公开(公告)号 CN114122207A 公开(公告)日 2022-03-01
申请公布号 CN114122207A 申请公布日 2022-03-01
分类号 H01L33/10(2010.01)I;H01L33/22(2010.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 芦玲;其他发明人请求不公开姓名 申请(专利权)人 江苏澳洋顺昌集成电路有限公司
代理机构 淮安市科文知识产权事务所 代理人 廖娜;李锋
地址 223001 江苏省淮安市清河新区景秀路6号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及半导体技术领域,公开了一种图形化复合衬底及包含该衬底的LED外延结构及芯片,衬底包括:衬底本体(110),以及设置于该衬底本体(110)上的周期性的凸起结构(120),所述凸起结构(120)包括底部图案层(123)、顶部图案层(121)以及镶嵌在所述顶部图案层(121)内部的至少一层金属薄膜反射层(122)。本申请中通过顶层图案层与金属薄膜反射层的双重作用,共同提高衬底的反射率,进而提高LED芯片的发光效率。