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一种衬底研磨装置及其研磨方法

基本信息

申请号 CN202110668617.0 申请日 -
公开（公告）号 CN113510611A 公开（公告）日 2021-10-19
申请公布号 CN113510611A 申请公布日 2021-10-19
分类号 B24B37/10（2012.01）I;B24B37/04（2012.01）I;B24B37/005（2012.01）I;B24B49/16（2006.01）I;B24B49/00（2012.01）I;B24B57/00（2006.01）I;H01L33/00（2010.01）I 分类 磨削；抛光;
发明人 严凯;卢海彬;其他发明人请求不公开姓名 申请（专利权）人 江苏澳洋顺昌集成电路有限公司
代理机构 淮安市科文知识产权事务所 代理人 吴宏宇
地址 223001 江苏省淮安市清河新区景秀路6号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种衬底研磨装置及其研磨方法，包括配液周转缸，配液周转缸砂液排出口连接小砂桶，小砂桶连接减薄机，减薄机砂液回流口连接小砂桶，小砂桶内设有液位感应器，配液周转缸砂液排出口通过第一管道连接小砂桶，第一管道上设有第一控制阀门，第一控制阀门和液位感应器之间电性连接，小砂桶连接第二管道，第二管道连接隔膜泵，隔膜泵的输出管道连接减薄机。采用容积量与减薄机完成一次作业所需砂液量呈整数倍关系的小砂桶循环加工，利用小砂桶加隔膜泵循环，每一份循环加工1盘晶片，每盘加工速率非常稳定，每盘加工后背粗基本一致同时加工效率得到很大提升。