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一种蓝宝石衬底清洗用快速旋干喷淋装置

基本信息

申请号 CN201921702424.7 申请日 -
公开（公告）号 CN210349791U 公开（公告）日 2020-04-17
申请公布号 CN210349791U 申请公布日 2020-04-17
分类号 H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 王乐浩;刘鹏;付星星;张海旭;孙帅;刘坚 申请（专利权）人 江苏澳洋顺昌集成电路有限公司
代理机构 大连理工大学专利中心 代理人 温福雪
地址 223001 江苏省淮安市清河新区景秀路6号
法律状态 -

摘要

摘要 一种蓝宝石衬底清洗用快速旋干喷淋装置，包括旋转载台、旋干机外壁、旋干腔体，旋干腔体以旋转载台的圆心为中心布置，旋干腔体内设有晶舟盒，晶舟盒内由上至下设有晶圆，旋干腔体内设有用于限位晶圆位置的固定柱；还包括设置在旋转载台上的喷淋柱，喷淋柱上设有除静电头和喷头二，喷淋柱安装在旋干腔体内，位于固定柱两侧，喷淋柱的底端接有管路，连通管路的一端与气源、溶液源和除静电发生器连接，喷淋柱表面面向晶圆方向设有除静电头和若干喷头二，除静电头位于喷淋柱中间，喷头二等间距排列在表面，喷淋柱的安装高度应高于固定杆的高度。该装置有利于蓝宝石衬底表面的充分清洁烘干，干燥更快节省时间，提高了工作效率与产品良率。