带力反馈电极的MEMS加速度计
基本信息
| 申请号 | CN201810751612.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109324212A | 公开（公告）日 | 2019-02-12 |
| 申请公布号 | CN109324212A | 申请公布日 | 2019-02-12 |
| 分类号 | G01P15/125 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 吴青山;郑延景 | 申请（专利权）人 | 深圳市易联科软件技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000 广东省深圳市福田区八卦三路36栋613 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 带力反馈电极的MEMS加速度计，使用分离的电极可以增加这种装置的动态范围。优势包括，更好的灵敏度，更好的噪声抑制，更好的信噪比。在实施例中，加速度计包括三个硅晶片，感测电极形成的全差分电容结构的电容器用于测量，力反馈电极形成的电容用于实现力反馈。这些电极被隔离在二氧化硅层上。在某些实施例中，加速度计还包括二氧化硅层、压电结构、吸气层、粘接片、粘接间隔和可以对检测质量块施加恢复力的力反馈电极。具有力反馈电极的MEMS加速度计可用于地球物理测量，例如用于地震传感或声学定位。 |
