柔性热电堆式传感器及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202111577013.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113945295A | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN113945295A | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | G01K7/04（2006.01）I;G01K7/02（2021.01）I;H01L35/32（2006.01）I;H01L35/34（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 吕小松;朱万;潘陈华;郑文波;尹青华 | 申请（专利权）人 | 广东则成科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 黄达荣 |
| 地址 | 519100广东省珠海市斗门区珠峰大道西六号306室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种柔性热电堆式传感器及其制造方法，其中，柔性热电堆式传感器通过采用柔性基底能够实现传感器可弯折，从而能够更好地适应被测物件异形的工况；通过在柔性基底上划分线路区和非线路区，并将线路区包围于非线路区，能够通过非线路区对线路区的元件起到保护作用以防外部氧化渗透；柔性基底的康铜箔与单面铜箔之间通过盲孔上镀有的铜镀层实现电连接，因此能够提高传感器板面的平整度，以使得传感器能够更好地贴合被测物件，且减小了传感器的厚度，因此，本发明的柔性热电堆式传感器减小了体积且能够弯曲以贴合异形物件，因此能够应用于空间狭窄且被测物件异形的工况。 |
