平行度调节装置及CVD生长膜装置
基本信息
| 申请号 | CN201510202608.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104900473B | 公开（公告）日 | 2017-04-05 |
| 申请公布号 | CN104900473B | 申请公布日 | 2017-04-05 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 梅艳慧;林继柱;温振兴 | 申请（专利权）人 | 北京精诚铂阳光电设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 北京精诚铂阳光电设备有限公司 |
| 地址 | 101400 北京市怀柔区雁栖经济开发区雁栖大街31号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种平行度调节装置及CVD生长膜装置。该平行度调节装置用于调节层叠设置的第一板体和第二板体之间的平行度，平行度调节装置包括：安装部；多个调节部，多个调节部安装在安装部上，各调节部均包括驱动组件和执行组件，执行组件包括执行件，执行件的第一端连接在第一板体的远离或靠近第二板体的侧面上，驱动组件驱动执行组件沿远离或靠近第二板体的方向运动。本发明的平行度调节装置及CVD生长膜装置的结构简单，便于提高大面积的CVD设备的生产效率。 |
