一种蒸发源的匹配方法及其装置、镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN201910562480.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112144015A | 公开（公告）日 | 2020-12-29 |
| 申请公布号 | CN112144015A | 申请公布日 | 2020-12-29 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 庞浩;何嘉 | 申请（专利权）人 | 北京精诚铂阳光电设备有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100176北京市大兴区北京经济开发区兴盛街17号1幢1-2层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种蒸发源的匹配方法及其装置、镀膜设备，用以实现自动匹配蒸发源和镀膜设备的目的，从而避免采用人工进行匹配造成工作量大，且工作效率较低的问题。一种蒸发源的匹配方法，包括：确定第一标识信息，以及与所述第一标识信息对应的蒸发源设置位置，所述第一标识信息用于标识镀膜设备中蒸发源设置位置；根据所述第一标识信息，以及预设的标识信息之间的对应关系，确定与所述第一标识信息对应的第二标识信息，所述第二标识信息用于标识蒸发源；根据所述第二标识信息，确定与所述第二标识信息对应的蒸发源，并控制将所述蒸发源匹配在所述蒸发源设置位置。 |
