翻转装置、其操作方法及包括其的共蒸发设备
基本信息
| 申请号 | CN201510203240.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104911560B | 公开（公告）日 | 2018-05-18 |
| 申请公布号 | CN104911560B | 申请公布日 | 2018-05-18 |
| 分类号 | C23C14/56;C23C14/52 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 杨斌 | 申请（专利权）人 | 北京精诚铂阳光电设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 赵囡囡;吴贵明 |
| 地址 | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区锦绣街7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种翻转装置、其操作方法及包括其的共蒸发设备。该翻转装置，用于翻转工件，工件包括承载基板和玻璃基板，承载基板包括多个基板定位柱，且玻璃基板通过基板定位柱固定在承载基板上，其特征在于，翻转装置包括：翻转台和设置于翻转台上方的翻转机构，且翻转机构包括由多个吸盘组成的吸盘组；顶起装置，包括设置于翻转台上的支撑架和位于支撑架上的顶针组，顶针组包括多个顶针，且顶针组中顶针的位置与吸盘组中吸盘的位置一一对应；检测装置，设置于翻转台上，且检测装置用于测量玻璃基板的各位置与翻转台之间的距离。采用翻转装置能够降低玻璃基板在翻转时的破碎率。 |
