一种垂直膜面方向具有硬磁性能且在面内方向具有软磁性能的磁性薄膜及其制备方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种垂直膜面方向具有硬磁性能且在面内方向具有软磁性能的磁性薄膜及其制备方法

基本信息

申请号	CN202110708000.7	申请日	-
公开（公告）号	CN113539607A	公开（公告）日	2021-10-22
申请公布号	CN113539607A	申请公布日	2021-10-22
分类号	H01F10/16（2006.01）I;H01F10/14（2006.01）I;H01F41/18（2006.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	于广华;刘冕宸;徐秀兰;冯春;滕蛟;李明华	申请（专利权）人	广东麦格智芯精密仪器有限公司
代理机构	北京市广友专利事务所有限责任公司	代理人	张仲波
地址	528200广东省佛山市南海区大沥镇盐步广佛路横江路段65号之五二楼245室
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种垂直膜面方向具有硬磁性能且在面内方向具有软磁性能的磁性薄膜及其制备方法，属于磁性薄膜制备技术领域。本发明所述磁性薄膜是利用磁控溅射仪于室温下在基底材料上沉积而成，包括从下而上依次层叠的基底、AlNiCo永磁合金和Ag。所述制备方法包括：利用磁控溅射仪于室温条件下通过直流溅射金属靶材，在基底材料上依次沉积AlNiCo永磁合金和Ag；再将薄膜材料从磁控溅射仪中取出，放入超高真空退后炉中，在真空度优于5.0×10Torr的条件下进行退火处理，退火温度为750℃‑900℃。利用该制备方法得到的磁性薄膜沿面内方向具有软磁性能且同时沿具垂直膜面方向有硬磁性能，拓宽了AlNiCo薄膜材料的使用性能，不仅可以用作磁码盘材料，还可用作磁传感器材料。