一种纳米薄膜制备及化学状态测试系统
基本信息
| 申请号 | CN202121325962.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215297194U | 公开（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申请公布号 | CN215297194U | 申请公布日 | 2021-12-24 |
| 分类号 | G01N23/2273（2018.01）I;G01N23/2202（2018.01）I;G01N23/2204（2018.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 于泠然;徐秀兰;于广华;冯春;滕蛟;李明华;王学敏 | 申请（专利权）人 | 广东麦格智芯精密仪器有限公司 |
| 代理机构 | 北京市广友专利事务所有限责任公司 | 代理人 | 张仲波 |
| 地址 | 528200广东省佛山市南海区大沥镇盐步广佛路横江路段65号之五二楼245室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种纳米薄膜制备及化学状态测试系统，系统包括制备室以及与制备室连接的分析室，制备室和分析室均为真空，且制备室的真空度小于分析室的真空度；制备室内具有氩离子枪和制备平台；分析室内具有X射线光电子能谱分析仪，X射线光电子能谱分析仪用于对制备室制备得到的薄膜材料的表面原子进行化学状态测试；系统还包括设置在制备室和分析室内的样品输送装置，样品输送装置用于将制备室制备得到的薄膜材料输送至分析室内。本方案中制备的薄膜材料不会经历空气的曝光，不需要用Ar离子枪把薄膜材料表面的氧化层蚀刻掉，从而避免薄膜材料中电子结合能的变化，因此可以提高薄膜材料的表面原子的化学状态的测试的准确度。 |
