柔性压力传感器、制备方法及传感系统、柔性电子皮肤
基本信息
| 申请号 | CN202011358763.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112556895B | 公开（公告）日 | 2022-02-08 |
| 申请公布号 | CN112556895B | 申请公布日 | 2022-02-08 |
| 分类号 | G01L1/14（2006.01）I;B29C39/00（2006.01）I;B29C39/02（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 潘俊;毛善安;郭小辉;洪玮强;邱雷;李典武;季芬芬;王威;韩磊;王科;郑满莹;苏雅鑫;程园;施婧 | 申请（专利权）人 | 合肥艾创微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥天明专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 娄岳 |
| 地址 | 231200安徽省合肥市肥西县桃花工业园拓展区繁华西路合肥工投立恒工业广场A2东第三层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了柔性压力传感器、制备方法及传感系统、柔性电子皮肤，包括相对平行设置的第一电极层、第二电极层；设置在所述第一电极层内侧的具有阵列式的第一尖端结构的第一介质层，所述第二电极层内侧设置有具有阵列式的第二尖端结构的第二介质层,柔性压力触觉传感器受压时，所述第一尖端结构被至少两个相邻的所述第二尖端结构挤压，所述第一尖端结构的顶端与所述第二平面激励电极的水平面相触，所述第二尖端结构的顶端悬空。本发明结构通过材料的改变，介质层结构的设计、布局，使得本发明克服粘滞效应带来的恢复时间长的缺点，具有了更高的检测灵敏度及更快的响应速度。 |
