一种检测光学系统任意波长光学参数的方法

基本信息

申请号 CN202110186511.7 申请日 -
公开(公告)号 CN112985776A 公开(公告)日 2021-06-18
申请公布号 CN112985776A 申请公布日 2021-06-18
分类号 G01M11/02 分类 测量;测试;
发明人 张齐元;王芳;韩森;王浩宇;朱大勇 申请(专利权)人 苏州慧利仪器有限责任公司
代理机构 上海德昭知识产权代理有限公司 代理人 郁旦蓉
地址 215164 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路150号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种检测光学系统任意波长光学参数的方法,属于光学检测技术领域,用于检测光学系统的多波长的光学参数,其特征在于,包括以下步骤:步骤S1,采用光学仪器分别对所述光学系统进行检测获得所述光学系统在R种波长分别为λ1~λr的参考光学参数f(λ1)、f(λ2)、······f(λr);步骤S2,将步骤S1得到的所述光学参数带入公式:式中,当D=0时(即只有前3项时)R≥3,当D≠0时R≥4,n≥max{X1,X2},计算参数A、B、C以及D的值;步骤S3,将计算得到的A、B、C以及D带入公式中,计算波长为λm的光学系统的光学参数。