一种检测用柱面镜头
基本信息
| 申请号 | CN202110240137.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113008133A | 公开（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申请公布号 | CN113008133A | 申请公布日 | 2021-06-22 |
| 分类号 | G01B9/023;G01B11/24;G02B7/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 韩森;李雪园;贾文昕;张凌华;韩博;朱亦鸣;康岩辉;祝永进;俞大海 | 申请（专利权）人 | 苏州慧利仪器有限责任公司 |
| 代理机构 | 上海德昭知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郁旦蓉 |
| 地址 | 215164 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路150号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种检测用柱面镜头，属于光学干涉检测领域涉，设置在干涉仪的焦前，用于检测柱面镜的表面形貌，该干涉仪发射平面光，其特征在于，包括：镜筒，呈筒状；平面镜，固定在镜筒中；以及计算全息图CGH，用于与平面镜相配合将平面光转化为柱面光，固定在镜筒中，其中，平面镜与计算全息图CGH沿干涉仪发射的平面光的光路依次设置在镜筒内，平面镜与计算全息图CGH互相平行且光轴重合。本发明提供的检测用柱面镜头，还可以具有这样的特征，其中，镜筒包括罩筒、第一镜座以及第二镜座，罩筒呈筒状，其两端分别设置有向罩筒的轴线延伸的第一限位部以及第二限位部，第一镜座呈筒状，第二镜座呈一端开口的柱状。 |
