一种离轴椭圆柱面镜表面形貌的检测装置以及检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202110242401.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113008162A | 公开（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申请公布号 | CN113008162A | 申请公布日 | 2021-06-22 |
| 分类号 | G01B11/24;G01B9/023 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 韩森;贾文昕;张凌华;韩博;李雪园;朱亦鸣;庄松林;康岩辉;俞大海;祝永进 | 申请（专利权）人 | 苏州慧利仪器有限责任公司 |
| 代理机构 | 上海德昭知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郁旦蓉 |
| 地址 | 215164 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路150号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种离轴椭圆柱面镜表面形貌的检测装置以及检测方法，属于光学干涉检测领域涉，用于检测待测的离轴椭圆柱面镜的表面形貌，其特征在于，离轴椭圆柱面镜表面形貌的检测装置包括干涉仪，用于发射平面光波；补偿元件，设置在干涉仪的焦前，用于将平面光波转化为柱面光波作为检测光，并反射干涉仪发射的平面光波作为参考光；待测镜夹具，设置在检测光的光路中且位于检测光的汇聚位置远离干涉仪一侧，用于固定离轴椭圆柱面镜并调节离轴椭圆柱面镜与干涉仪之间的位置以及倾斜角度；以及反射镜，设置在检测光经过离轴椭圆柱面镜反射形成的第一反射光的光路中且位于第一反射光的汇聚位置远离待测镜夹具的一侧。 |
