一种基于波前传感器的紫外波前测试设备
基本信息
| 申请号 | CN201821811146.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209311051U | 公开（公告）日 | 2019-08-27 |
| 申请公布号 | CN209311051U | 申请公布日 | 2019-08-27 |
| 分类号 | G01M11/02（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张斌; 有佳鑫 | 申请（专利权）人 | 南京智茂生命科学仪器研究院有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 南京智茂生命科学仪器研究院有限公司;茂莱（南京）仪器有限公司 |
| 地址 | 211100 江苏省南京市江宁区铺岗街398号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种基于波前传感器的紫外波前测试设备，包括激光器和波前传感器，所述激光器发出光经过测试光路后到达波前传感器，测试光路中，激光器发出光依次通过旋转毛玻璃、空间滤波器、准直镜I以45度照射到分束镜I上，分束镜I对一部分激光进行90度反射后以45度照射到分束镜II上，分束镜II对照射的一部分激光进行90度反射，反射的激光通过扩束镜I后由标准反射镜180度反射，被标准反射镜反射的激光通过扩束镜I后再次照射到分束镜II上，其中一部分光透过分束镜II后再通过扩束镜II照射到波前传感器上。与传统激光干涉仪相比，本实用新型测试设备采用波前传感器进行测量，提高了系统测试的动态范围和测量精度。 |
