一种压力传感器敏感元件的制造工艺
基本信息
| 申请号 | CN202010725399.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111855034B | 公开（公告）日 | 2021-12-10 |
| 申请公布号 | CN111855034B | 申请公布日 | 2021-12-10 |
| 分类号 | G01L1/16;G01L9/08;C23C16/04;C23C14/04;B33Y10/00;B29C64/10 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 方舟;梁敏 | 申请（专利权）人 | 芜湖传方智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥市科融知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 朱文军 |
| 地址 | 241002 安徽省芜湖市弋江区芜湖高新技术开发区综合服务区A3栋3层304 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及传感器元件技术领域，具体涉及一种压力传感器敏感元件的制造工艺，包括基材切片、腔座打印、电极沉积和检测封装，其中采用的覆材机包括机台、层印头、调姿杆和控制器；所述机台的外侧设有调姿杆，调姿杆的端部与切片的边缘相接触；由于敏感元件在制造的生产过程中，机台上切片安装的定位过程耗费了额外的时间，且在待加工切片型号发生改变时，需要对应调整机台上切片的定位装置，继而降低了覆材机的加工效率；故此，本发明通过设置在机台上的圆环与其外部的调姿杆相配合，通过控制圆环的移动和调姿杆的转动范围，满足不同尺寸切片在机台上的定位精度，并优化了切片在机台上的定位过程，从而提升了压力传感器敏感元件的制造工艺效率。 |
