一种硅部件的超声波清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202122068501.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215902335U | 公开（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申请公布号 | CN215902335U | 申请公布日 | 2022-02-25 |
| 分类号 | B08B3/12（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 潘连胜;潘一鸣;王莉莉 | 申请（专利权）人 | 福建精工半导体有限公司 |
| 代理机构 | 泉州市宽胜知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 廖秀玲 |
| 地址 | 362000福建省泉州市南安市霞美镇光电信息产业基地恒通路16号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种硅部件的超声波清洗装置，包括清洗机本体、设于所述清洗机本体上用于盛放清洗液的清洗槽、设于所述清洗槽两侧上用于发出超声波清洗硅部件的超声波发生器，所述清洗槽上可拆卸设有用于容纳硅部件的容纳架，所述清洗槽内底端设有用于带动所述容纳架上硅部件转动进行清洗的硅部件转动装置；本实用新型通过设置硅部件转动装置，带动容纳架上的硅部件进行转动，使得在清洗过程中硅部件各个位置都可以得到清洗，防止了硅部件与容纳架接触位置无法得到有效的清洗的问题发生，使得清洗效率得到提高，清洗效果更好。 |
