一种硅部件清洗存放装置
基本信息
| 申请号 | CN202121528508.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215236292U | 公开（公告）日 | 2021-12-21 |
| 申请公布号 | CN215236292U | 申请公布日 | 2021-12-21 |
| 分类号 | B08B3/02（2006.01）I;B08B3/10（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 潘连胜;潘一鸣;王莉莉 | 申请（专利权）人 | 福建精工半导体有限公司 |
| 代理机构 | 泉州市宽胜知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 廖秀玲 |
| 地址 | 362000福建省泉州市南安市霞美镇光电信息产业基地恒通路16号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种硅部件清洗存放装置，包括用于承接水来清洗硅部件的清洗槽，所述清洗槽内设有用于放置硅部件的清洗架，所述清洗架上设置有用于清洗硅部件的清洗装置，所述清洗装置包括若干个设于所述清洗架上用于向放置于所述清洗架上的硅部件喷射水流的喷射管、设于所述清洗槽上用于将所述清洗槽内水导入喷射管内喷出的增压泵，所述清洗槽上设有用于带动所述清洗槽内水循环流动的循环装置，所述清洗槽上设有用于将所述清洗槽内水全部排出的排水装置。 |
