一种多霍尔测试样品的测试夹具、测试控制器及测试方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种多霍尔测试样品的测试夹具、测试控制器及测试方法

基本信息

申请号	CN201811586561.9	申请日	-
公开（公告）号	CN109696568A	公开（公告）日	2019-04-30
申请公布号	CN109696568A	申请公布日	2019-04-30
分类号	G01R1/04（2006.01）I; G01R31/26（2014.01）I	分类	测量；测试;
发明人	张杨; 李弋洋	申请（专利权）人	中科芯电半导体科技（北京）有限公司
代理机构	北京同辉知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张素红
地址	100076 北京市大兴区西红门镇金盛大街2号院23号楼二层（中科芯电）
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种多霍尔测试样品的测试夹具、测试控制器及测试方法。该夹具连接于霍尔效应测试仪，夹具上设有多块焊盘，每块焊盘上焊接有一个测试电极对应用于测试一个样品。测试控制器通过金属导线与上述测试夹具的焊盘连接；控制器内部有与焊盘个数对应的4进4出继电器，每个继电器对应用于测试夹具上的一块样品。当测试一个样品时，夹持该样品的焊盘对应连接的测试控制器内继电器吸合，其余继电器断开，此时对该样品进行测试；当测试另一样品时，夹持该另一样品的焊盘对应连接的测试控制器内继电器吸合，其余继电器断开，此时对该另一样品进行测试。以往4块MBE生长GaAs基本征GaAs结构样品霍尔效应测试需2小时，目前仅1小时即可。