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一种低辐射镀膜线用遮板装置

基本信息

申请号	CN202021905778.4	申请日	-
公开（公告）号	CN213172547U	公开（公告）日	2021-05-11
申请公布号	CN213172547U	申请公布日	2021-05-11
分类号	C23C14/35	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	周慕蓉;罗雨潇;付成杰;刘宇;张钟宇	申请（专利权）人	中建材光电装备（太仓）有限公司
代理机构	苏州言思嘉信专利代理事务所（普通合伙）	代理人	刘巍
地址	215000 江苏省苏州市太仓港港口开发区长江大道189号
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域，具体是一种低辐射镀膜线用遮板装置，包括遮挡板和密封轴，所述遮挡板和所述密封轴的一端固定连接，所述密封轴的另一端设置有环套，所述密封轴上分别设置有第一密封件、第二密封件、U型无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈、轴套和挡圈，所述第一密封件、第二密封件、U型无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈、轴套和挡圈的外部包覆有密封套。本实用新型的有益效果是，通过设置的第一密封件、第二密封件、无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈和挡圈，可以有效阻挡外部空气进入磁控溅射镀膜的工作空间内，遮挡板可以实现360度转动，而不影响其密封性能，装置的整体结构较简单，而且组装安装都比较方便，成本低。