一种碳化硅蒸汽喷射真空泵

基本信息

申请号 CN202110711828.8 申请日 -
公开(公告)号 CN113374742A 公开(公告)日 2021-09-10
申请公布号 CN113374742A 申请公布日 2021-09-10
分类号 F04F5/20(2006.01)I;F04F5/44(2006.01)I;F04F5/46(2006.01)I 分类 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵;
发明人 李志刚;欧宝雷 申请(专利权)人 无锡英罗唯森科技有限公司
代理机构 无锡智麦知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 宋春荣
地址 214000江苏省无锡市惠山经济开发区风电园风能路67-5号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明所述的一种碳化硅蒸汽喷射真空泵的碳化硅喷咀具有高强度、高导热、耐高温等性能;本发明的碳化硅喷咀综合了蒸汽腔和喷嘴两个功能,使蒸汽喷射真空泵结构更简单,组装更方便;本发明的钢衬四氟混合室壳体和扩散器采用钢衬四氟材质,既能满足防腐要求,又能相应减少设备投入,有利于推广应用;本发明的过流件部分防腐性能优异,可以满足高温、强腐蚀条件下的抽真空要求;通过金属压板法兰将碳化硅喷咀密封面通过法兰对夹的方式与衬四氟混合室法兰连接在一起,增加了装配的可靠性;本发明包括用于喷射蒸汽的碳化硅喷咀、钢衬四氟混合室壳体、钢衬四氟扩散器和金属压板法兰。